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商品詳細情報

顕微フォトルミネッセンス測定装置
LabRAM-HR PL

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LabRAM-HR PL

非破壊、非接触による、化合物半導体(ワイドギャップ半導体からナローギャップ半導体まで)の
組成評価、欠陥評価、量子井戸の評価、不純物評価、結晶性評価が行える装置です。
<主な特長>
・ツエルニターナ型分光器(焦点距離800mm)により、高精度測定が可能
・複数のレーザを搭載可能(DUV〜NIR)
・2つの検出器(アレイ型、シングルチャンネル型)が搭載可能で、UVからNIRまで、広い測定
 レンジ(200nm〜1600nm以上)を高感度で測定可能
・2種類の回折格子を標準で搭載
・最大300mm大型XYステージでのマッピング測定が可能。また、高倍率対物レンズで、
 微小部分のマッピング評価も可能

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